マーストーケンソリューション、ナノフォーカス横照射型X線CT「MUX-2021」を販売―世界最高レベル、高精細かつ高速で三次元CT撮像を実現―

Ｘ線検査装置の製造・販売・検査受託サービスを行う株式会社マーストーケンソリューション（以下MTS）は、業界内で世界トップクラスの高分解能X線源と高感度検出器を搭載したナノフォーカス横照射型X線CT「MUX-2021」を販売する。

X線によって複雑な電子部品、素材や生体等の内部画像を取得し、CT（コンピュータ断層撮影）機能により、内部形状、状態を把握することができる。従来比8倍の高速処理が可能となっており、材料研究や障害部品の解析、品質管理等業務の大きな生産性向上に役立てることができる。

これにより半導体の研究開発、自動車用電池の新素材開発や医学研究や宇宙用素材開発といった、研究開発からモノ作りまでさまざまな用途で活用できる。

概要

●世界最高レベル0.4um分解能
世界最高レベル、JIMAチャート0.4um分解能を保証しており、半導体電子部品の分野で豊富な納入実績のある自社製開放管型X線源を搭載。

●ハイコントラストかつ高精細な三次元CT観察を実現
高解像度検出器との組み合わせで当社X線源の特徴である長波長の軟X線領域を最大に活用し、ハイコントラストかつ高精細な三次元CT観察を実現。

半導体や電子部品の微細加工品の観察や電子顕微鏡の電子線ではダメージを受けてしまう複合材樹脂内添加物の凝集/分散や空孔、炭素繊維の配向性、生体試料の構造等の微細な三次元CT観察が可能。

●高速撮像
高精度回転試料ステージを搭載により100ナノメートル以下の空間分解能を実現するだけでなく、非停止撮像を可能とし、撮像時間を従来の1/8以下に大幅短縮。（※当社従来機比、撮像条件による）

●自動大量一括処理可能（オプション）
オートチェンジャー機能を追加することで多数の試料の自動撮像が可能。（オプション）

●引張や圧縮機構をつけ、試料にストレス加えた状態での三次元CT観察が可能。（オプション）

仕様

・線源：自社開発　開放型X線源　（JIMAチャート0.4um保証）
・管電圧/管電流：20～100ｋV　/10～200uA
・検出器：高感度X線検出器（16bit）空間分解能0.1um以下
・最大視野サイズ：17×17mm
・本体サイズ（操作デスク含まず）：1,420（W）×985（D）×1,350（H）mm
・重量：1,270kg