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質問タイトル質問者質問日緊急度
No.29

高視野高精度の計測

uma2006/12/19 11:57すぐに回答が欲しい
視野60mm×40mmの中に1mm×0.5mm弱の製品が
5120個あります。その製品の中心に幅9μm、
高さ0.3mmの隙間があり、その隙間を2μmの
高さで1μm以内の精度で計測したいと考えて
います。設備のスピードは5120個に対し、
1分です。何か情報があれば連絡のほどよろ
しくお願いします。


■回答3(回答)
回答者ygnm3(技術者)回答日2006/12/25 10:52自信ご参考まで
「0.3mmを2μmずつです。データはそれぞれ要求されます。レンズがないのが一番の問題です。」

なら、提案2はレンズの目処が立ってからです。

代わりに下記を提案します。

提案5:
7μmピッチのラインセンサに3.5倍のラインセンサ用レンズを付けて、送りに連動させながらデータを取り込む。このとき(ラインセンサの素子幅が大きい?ハズなので)スリットを配置する。このデータを解析して幅を割り出す。
長所:ラインセンサ用レンズ位のもので、その隙間を2μmの高さで1μm以内の精度で計測できる可能性が高い。
短所:隙間の壁が光学的に校正用サンプル並みであること。上下数ミクロンは精度が出ない。
必要事項:安定した平行透過光線があること。制御される、ぶれない並行搬送がなされること。再現性試験や校正に使える既知幅サンプルが使えること。

干渉については???です。

お役に立てれば幸いです。
■この回答に対するumaさんの返答
解答ありがとうございます。

提案5は光をレーザで出来ないか構想しましたが、
構想の段階でやるのが困難すぎるとのことで、没
になっています。

難しいですよね。また、何かあったら教えてくだ
さい。

■回答2(回答)
回答者ygnm3(技術者)回答日2006/12/22 09:46自信ご参考まで
返答ありがとうございます。

隙間の高さ(Z)が隙間と同じくらいとのこと。

計るところは隙間に対して中央1点でいいのかな?
それとも0.3mmの範囲の数十点のmax,miniなどのデータが要求されるのかな?
これだけの分解能を確保するレンズ系は抑えてあるのかな?

などの疑問は残りますが?

提案1:隙間の一箇所を高速に計る方法。試料を動かしながら、複数の直角に設けたスリットの透過光を、複数の光電センサで受ける。(利点:光分解能のレンズ系でなくともOK、早い。欠点:スリット位置の隙間だけが測られる。)
提案2;ミラーと3本のWDの長いテリセントリック系レンズを使って、ストロボ透過光で各隙間毎に撮像する(1分で対応可。スリット幅のmax.minも計れる。欠点:WDの長いテリセントリック系レンズで光分解能のレンズが見つからない)
提案3:必要な分解能のレンズ系と高画素ラインセンサを配置(複数?)し、全面スキャンして計測する。
(利点:安易。欠点:面白くない)

でしょうか(とりあえず)。
■この回答に対するumaさんの返答
返答ありがとうございます。

計るところは、0.3mmを2μmずつです。
データはそれぞれ要求されます。
レンズがないのが一番の問題です。

提案3:レンズないので、不可能でした。

提案2:すみません。イメージ浮かばないです。
    詳細に教えて欲しいです。お願いします。

提案1:光電センサの精度がたりないです。

提案2の詳細の解答だけお忙しいところ申し訳ない
のですがお願いします。

■回答1(補足要求)
回答者ygnm3(経験者)回答日2006/12/20 09:55自信ご参考まで
隙間を2μmの高さで1μm以内の精度で計測したい とのことでしたら、その3D形状および表面状態等によりアプローチが大きく変わります。
 たとえば、高さの意味は Z軸、Y軸?
      隙間のZ軸形状は?
      隙間の計りたいところは中央のx間隔?
      並び方はX、Y軸が確保させています?
      などなど
もっと検討に必要な条件を提示しないと、透過照明で単純に計れた値で など 勝手な解釈での回答しかえられません。
■この回答に対するumaさんの返答
高さはY軸です。
隙間の計測はX軸です。
隙間の形状はアルミナ基板の上に金を付着させるのですが、その付着させていない部分が隙間となります。
つまり、隙間以外の高さが10μm程度と考えてください。
並び方は64×80で等間隔に並んでいます。
基本的に透過照明で、隙間は光ります。

以上、情報よろしくお願いします。
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